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LoadPort

LoadPort是新松公司自主研發的一種晶圓裝載裝置，可安裝在EFFM上，適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載，具備準確的mapping功能，可自動識別盒內晶圓各槽狀態，如單片、跨片、異常片，通過獨創的開關門機構和精確的運動控制，實現了高清潔性能，同時具有良好的穩定性和速度。

advantages

產品優勢
  • 安全穩定可靠
    速度快、穩定性好
  • 可掛載
    可掛載到標準EFFM接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圓和的開啟和關閉
  • 自動識別
    自動識別盒內晶圓尺寸以及盒內各槽晶圓狀態
  • 防夾手功能
    內置防夾手功能

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 動作對象

    300mm 25 Wafer FOUP/ 200mm 25 Wafer adaptor

  • 外形尺寸mm H x W x D

    1381*470*570

  • 本體重量

    60kg

  • 重復位置精度

    ±0.1 mm

  • 動作時間

    開盒帶Mapping 14Sec

  • 動作時間

    關盒不Mapping 10Sec

  • 潔凈等級

    CLASS 100

  • 氣源

    真空:-40~-80KPa 壓縮空氣:0.5~0.6Mpa

  • 電源

    DC 24V 3AMax

  • 可靠性

    MCBF 500,000 times

  • 通訊接口

    RS232

  • 震動

    0.7g

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