国产精品福利一区二区久久,人妻aⅴ中文字幕,与子乱对白在线播放单亲国产,亚洲性视频免费视频网站,成熟丰满熟妇高潮xxxxx,七妺福利精品导航大全,国产熟妇午夜精品aaa,色护士极品影院
更多

產品中心

您當前所在位置:首頁 > 產品中心 > 潔凈機器人

TSS-3000 EFEM

EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統,可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構,保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全。

advantages

產品優勢
  • 符合SEMI標準
    整機參照SEMI進行設計,符合半導體行業標準
  • 自主研發
    大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發,穩定性高
  • 尺寸多樣性
    采用行業標準尺寸,內部空間布局合理,結構緊湊性強,可根據用戶需求定制
  • 傳輸效率高
    多款大氣手、aligner等部件可供選配,可配置外部軸,大氣手可實現多種取放功能,傳輸效率高
  • 標準化程度高
    內部零部件高度標準化模塊化,互換性高
  • 兼容性強
    可根據用戶的實際需求進行非標定制


Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 尺寸

    2100*750*2500mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 潔凈等級

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥150

版權所有 ? 沈陽新松機器人自動化股份有限公司 遼ICP備06001786號-1 地址:遼寧省沈陽市渾南區全運路33號 郵編:110169
關于新松 聯系我們 招賢納士
主站蜘蛛池模板: av天堂永久资源网亚洲高清| 成人网站国产在线视频内射视频| 亚洲国产福利成人一区二区| 人妻体验按摩到忍不住哀求继续| 国产成_人_综合_亚洲_国产绿巨人| 男人进女人下部全黄大色视频 | 少妇人妻激情乱人伦| 国产人妻精品一区二区三首| 久久se精品一区精品二区国产 | 狼人无码精华av午夜精品| 成人无码区免费视频网站| 人妻被按摩到潮喷中文字幕| 久久久久国产精品人妻照片| 可以直接免费观看的av网站| 老子午夜精品888无码不卡| 亚洲精品日本一区二区三区| 2020亚洲欧美国产日韩| 亚洲国产成人久久综合碰碰| 天堂中文8资源在线8| 亚洲人成伊人成综合网小说| 精品一品国产午夜福利视频| 超碰成人人人做人人爽| 国产成在线观看免费视频| 久久久精品成人免费看片| 免费无码久久成人网站入口| 日日碰狠狠添天天爽五月婷| 亚洲日韩欧美在线成人| 欧美疯狂做受xxxx| 国产台湾无码av片在线观看| 国产午夜亚洲精品不卡 | 少妇无码av无码一区| 在线播放亚洲人成电影| 亚洲欧美国产成人综合不卡| 噜噜噜亚洲色成人网站∨| 欧洲美妇乱人伦视频网站| 久久疯狂做爰xxxⅹ高潮直播| 一群黑人大战亚裔女在线播放| 日韩高清亚洲日韩精品一区二区三区| 中文字幕一本久久综合| 妺妺窝人体色www在线| 国产精品亚洲第一区焦香味|