Titan1500C真空潔凈機器手采用網絡化控制系統，具有優良的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，產品通過SEMI認證，MCBF大于1000萬次。產品在磁流體密封技術及手臂使用鋼帶進行動力傳輸的技術加持下，具備高潔凈度，高真空度、低漏率，耐高溫、耐腐蝕，負載能力強等特點。Titan1500C作為LED芯片制造領域的真空機械手產品主要用于LED芯片制造過程中，實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，在使用過程中因其高精度、高傳輸效率、負載能力強等特點，大大提高了LED芯片生產制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關鍵產品。本產品在集成電路制造用真空機械手的基礎上，針對其大負載需求，創新了其傳輸結構和控制規律，使其能夠達到12kg的負載能力，以高品質、高性價比服務于廣大客戶并在行業取得領先位置。
≤12kg
≤1500
3
±0.2
上法蘭安裝
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